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湖南和天文化传播有限公司
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MEMS法珀腔光学声传感器
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ISBN
9787121466953
作者
郑永秋, 陈佳敏, 武丽云著
出版社
电子工业出版社
出版时间
2023-11
读者对象
本书对从事MEMS光学声传感技术研究、设计、制造和应用的科技人员有一定的参考价值, 也可作为相关专业本科生和研究生的教学参考书
内容提要
本书系统地论述了MEMS法珀腔光学声传感器的传感机理、法珀腔声敏感结构的优化设计及制备、调相谱检测的声信号解调技术等, 还对MEMS法珀腔光学声传感器进行了测试与分析。
尺寸
23cm
装帧
平装
页数
211页
中图分类
TP.自动化技术、计算机技术
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